用于NC數(shù)控機(jī)床海德漢HEIDENHAIN光柵尺

海德漢封閉式直線光柵尺的鋁外殼保 護(hù)光柵尺、讀數(shù)頭和導(dǎo)軌，避免其受灰 塵、切屑和切削液的影響。 自動(dòng)向下壓的 彈性密封條保持外殼密封。

讀數(shù)頭沿光柵尺的小摩擦力導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)。 讀 數(shù)頭通過一個(gè)聯(lián)軸器與外部安裝架連接， 聯(lián)軸器可以補(bǔ)償光柵尺與機(jī)床導(dǎo)軌間不可 避免的對(duì)正誤差。

敞開式光柵尺與讀數(shù)頭和光柵尺或鋼帶間沒有機(jī)械接觸。這些光柵尺的典型應(yīng)用包括：測(cè)量機(jī)、比較儀和其它長度計(jì)量精密設(shè)備以及生產(chǎn)和測(cè)量設(shè)備，例如用在半導(dǎo)體工業(yè)中。

增量式光柵尺決定當(dāng)前位置的方式是由原點(diǎn)開始數(shù)測(cè)量步距或細(xì)分電路的計(jì)數(shù)信號(hào)數(shù)量。海德漢的增量式光柵尺帶有參考點(diǎn)，開機(jī)時(shí)必須執(zhí)行參考點(diǎn)回零，操作非常簡單、快捷。

絕對(duì)式光柵尺無需執(zhí)行參考點(diǎn)回零操作就能直接提供當(dāng)前位置值。光柵尺的絕對(duì)位置值通過EnDat接口或其它串行接口傳輸。

海德漢光學(xué)掃描的直線光柵尺或編碼器的

測(cè)量基準(zhǔn)都是周期刻線－光柵。

這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。對(duì)于大

長度的光柵尺，用鋼帶作為光柵尺基體。

海德漢公司用以下特別開發(fā)的光刻工藝制

造精密光柵。

• METALLUR：抗污染的鍍金層金屬柵

線；典型柵距：40 μm

• DIADUR：玻璃基體的超硬鉻柵線（典

型柵距：20 μm）或玻璃基體的三維鉻

線格柵（典型柵距：8 μm）

• SUPRADUR相位光柵：光學(xué)三維平面格

柵；強(qiáng)抗污能力；典型柵距：不超過

8 μm

• OPTODUR相位光柵：光學(xué)三維平面格

柵，超高反光性能；典型柵距：不超過

2 μm

除極小柵距外，由該工藝刻制的光柵擁有

優(yōu)異的邊緣清晰度和均勻性。結(jié)合光電掃

描法，邊緣清晰的刻線是輸出高質(zhì)量信號(hào)的關(guān)鍵。

用于NC數(shù)控機(jī)床海德漢HEIDENHAIN光柵尺